Elektrodeløs plasma eksitasjon - Electrodeless plasma excitation

Elektrodeløse plasmainciteringsmetoder inkluderer helikonplasmakilder , induktivt koblede plasmaer og vedvarende utslipp fra overflatebølger .

Elektrodeløse høyfrekvente utladninger (HF) har to viktige fordeler i forhold til plasmaer ved bruk av elektroder , som kapasitivt koblede plasmaer som er av stor interesse for moderne plasmaforskning og applikasjoner:

  • For det første forekommer ingen sputtering av elektrodene. Avhengig av ionenergi, kan det imidlertid fremdeles forekomme sputring av reaktorveggene eller substratet. Under forhold som er typiske for plasmamodifiseringsformål er ionenergien i elektrofri HF-utladninger omtrent en størrelsesorden lavere enn i RF-utladninger. På denne måten kan forurensning av gassfasen og skader på underlagsoverflaten reduseres.
  • For det andre tillater overflate-bølgeeffekten å generere romlig utvidede plasmaer med elektrondensiteter som overskrider den kritiske tettheten .


Stub-ikon

Denne plasmafysikkrelaterte artikkelen er en stubbe . Du kan hjelpe Wikipedia ved å utvide den .