Lavtrykksutladning - Low-pressure discharge

Lavtrykksutslipp er elektriske utslipp i gasser som dannes under gasstrykk fra noen få millitorr til litt mindre enn atmosfæriske. De brukes oftest i industrien for å generere plasma . Det kreves mindre kraft for å opprettholde utslippet ved lavere trykk ettersom volumrekombineringshastighetene er lavere. Det er også lettere å oppnå ensartede utslipp ved lavt trykk. Normalt pumpes systemet ned, og bare nødvendige plasmagasser blir deretter fløyet inn i plasmakammeret. Argon er en typisk bakgrunnsgass fordi den har lavt ioniseringspotensial og derfor er lettere å bryte ned og opprettholde.

De fleste utslipp som brukes i halvlederindustrien, bruker lavtrykksplasmaer.

Se også